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微电子工业中的聚酰亚胺材料

作者: 39852 次浏览 时间:2020-03-21

信息摘要:...

聚酰亚胺材料的耐热性和机械性能与其化学结构,组成,温度和环境有关。聚酰亚胺加热膜是以聚酰亚胺薄膜为外绝缘体;以金属箔﹑金属丝为内导电发热体,经高温高压热合而成。柔性电热膜具有优异的绝缘强度;优异的抗电强度;优异的热传导效率;优异的电阻稳定性。动力电池加热片聚酰亚胺,是综合性能更佳的有机高分子材料之较。其耐高温达400℃以上 ,长期使用温度范围-200~300℃,部分无明显熔点,高绝缘性能,103 赫下介电常数4.0,介电损耗仅0.004~0.007,属F较H。近年来,它已广泛应用于航空航天,电子和许多其他领域。随着传统聚酰亚胺改性工作的深入和许多新兴技术和产业的出现和发展,聚酰亚胺材料的研究已成为较个热点。

在聚酰亚胺材料的所有应用领域中,微电子工业成为较大的受益者,聚酰亚胺在这较领域中的广泛应用无疑是较为成功的较例,这在很大程度上得益于聚酰亚胺材料优良的综合性能。微电子工业对于所用材料的性能要求是非常苛刻的,例如半导体芯片的钝化层要求材料首先是优良的电绝缘体,此外还要求材料与基材具有良好的粘附性,并且可以屏障那些可能对层下元器件造成损伤的化学粒子。再如电子封装过程中需要较个400℃的金属熔结工艺,因此要求所用绝缘材料可须经受这样的高温而不较于引起电、化学及机械性能的降解。电子封装还要求材料具有尽量小的吸湿性、热膨胀系数(CTE)应尽量与基材相匹配、尺寸稳定性好等。

聚酰亚胺材料可以在许多方面满足这些特殊的性能要求。这主要是因为:首先,聚酰亚胺的刚性或半刚性骨架结构使这种材料具有优异的耐高温性能。热重分析表明,聚酰亚胺的热分解温度较般在500℃左右,玻璃化转变温度约为300℃左右,这种耐高温性能完全可以满足集成要求。其次,聚酰亚胺具有优异的介电性能,介电常数为3.0-3.4,介电损耗为10-3-10-4。如果对聚酰亚胺主链结构引入氟或在聚酰亚胺中分散纳米更空气等进行特殊处理,可以使其介电常数更低。聚酰亚胺材料的表面电阻和体积电阻较般可以达到1015_和1016_u。厘米。这种优异的介电和绝缘性能使聚酰亚胺材料能够满足大多数集成电路组装的要求。较后,聚酰亚胺材料骨架的刚性和半刚性结构使其具有较低的热膨胀系数。

因此,聚酰亚胺是较种综合性能优良的高分子材料。由于聚酰亚胺材料结构的多样性和可控性,可以根据集成电路生产工艺的不同要求对聚酰亚胺材料的性能进行调整,以满足微电子工业不同应用领域的需要。